静岡大、磁気浮上式の半導体製造向け遠心ポンプ開発 – 日刊工業新聞

【浜松】静岡大学大学院工学研究科の朝間淳一准教授らの研究グループは２２日、半導体製造工程などで利用できる磁気浮上式の遠心ポンプ（写真）を開発したと発表した。軸受ではなく磁力で非接触に羽根車を支えるため、摩耗粉が混入しない。３年以内の実用化を目指す。